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分子泵(两台)

需求号:20000001242 金主:134XXXX8682-75 发布时间:2017-11-08 浏览量:1823
分类:系统集成->其它
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投标截止时间:2017-11-30
投标指导价:¥100000-300000
需求完成时间:2018-01-30
QA项目管理:不需要
联系方式:仅服务商投标后可见
具体需求:

一、   环境要求

  (1) 工作温度:45°C

(2) 安装面温度: 60°C

(3) 存储温度:-40°C ~ 85°C

(4) 工作湿度: 95%

(5) 稳态噪声:≯ 45dB(A)

(6) 外部环境气压(模块外部环境)8.13104Pa ~ 2105Pa

(7) 重力环境(通电工作环境):优于 10-3g

二、   功能要求

分子泵的主要功能要求如下:

(1)  对外提供抽排高真空接口;

(2)  具有故障/状态检测和监测功能;

(3)  具有转速、内部温度、电压、电流等工程参量信息返回功能;

(4)  具有重启后复位功能;

(5)  具有断电、过流保护功能;


三、   分子泵主要参数参数类型

参数类型

技术指标要求

备注

内部耐受压力

不低于 4atm

Ar

外部耐受压力

不低于 2.2atm

空气

有效抽速

不低于 80L/s

Ar

其它气体成分

氮气、氧气

空气

结构润滑与腐蚀

防腐蚀、无挥发

-

提供一级真空接口

不高于 220Pa

-

支持极限真空度

优于 10-5Pa

实验腔体总漏率优于 10-9Pa,腔

体容积 5.5L

安装接口漏率

不高于 10-7Pa×L/s

与实验腔体安装接口

抽排高真空时间

不高于 10h

220Pa 10-5Pa

耐受流经气体温度

不低于 85°C

-

冷却方式

液冷

水温 26°C,流量 50L/h

更换性

便捷更换

-

寿命

不小于 5

累计工作时间

噪声

45dB

-

质量

2.5kg

-

 

四、   结构要求

分子泵外包络尺寸参见图 2.6.1(a)所示,其它指标要求如下:

(1)  整体质量: ≤2.5kg;

(2)  壳体材料:不锈钢 304;

(3)  表面处理:喷砂(亚光);

(4)  外包络尺寸:直径 100mm 长度 150mm 圆柱体;

(5)  整体一阶频率:不低于 100Hz。

五、   接口要求

  (一) 机械接口要求指标要求如下:

(1)  抽气接口:DN63 ISO-K;

(2)  排气接口:KF10;

(3) 安装面平面度: 0.1mm/100mm×100mm;

(二) 温控与功耗接口要求

(1) 表面接触温度:不高于 45°C(1 个小时);

(三) 与机械泵接口要求

(1)  接口选型与配置:ISO KF10;

(2)  接口配置: 1 路一级真空;

(3)  连接器密封:漏率不高于 10-7Pa×L/s(仅对 10-6Pa 真空)。

(四) 电源与信息接口要求



分子泵研制技术要求.pdf  
补充说明:

暂无

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验收通过 2018-01-30 100%
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